螺杆真空泵

螺杆真空泵是一种抽气装置，利用一对螺杆在泵壳内同步高速反方向旋转，造成抽吸和排气管实际效果。这是油封机械泵的更新产品，能够提取含有较多的水蒸气和少量灰尘的气体。被广泛应用于国内制药业、化工厂、半导体材料等对洁净度和真空度要求高的企业领域。两个螺丝经过仔细的稳定平衡，由滚动轴承支撑，并安装在泵壳中。螺丝中间具有一定的间隙。因而，当泵运行中，螺杆本身没有摩擦，运行稳定，噪音低，工作室不用润滑油。因而，干式螺杆泵能够提取含有较多的水蒸气和少量灰尘的气体，具有极限真空度高、功耗低、环保节能、经久耐用等优点。这是油封机械泵的更新产品。各种机械泵的发展越来越受到真空应用的影响。一般真空系统无法满足清洁、全无油和抗腐蚀的要求。因而，近些年，螺杆真空泵的市场需求很大，真空产品也有升级换代的趋势。大量的油基真空系统已经被全无油和清洁的真空系统所取代。国外几乎每一家主要的真空公司都生产各种类型螺杆真空泵。螺杆式真空泵是一种非接触干式泵，出现于20世纪90年代初，是一种令人满意的泵型。由于其泵送速度范围广、结构紧凑紧凑、泵室部件无摩擦、坚固耐用、能耗低、无油污染等优点，得到了广泛的应用。

由于其优越的性能，干式螺杆真空泵已成为欧洲、美国和日本微电子、半导体材料、制药业和精密加工等行业首选的真空采集设备。在螺杆压缩机的基础上，日本长期以来一直在开发用于机械泵的多头转子型材，并将其投入市场。德国几家真空设备公司已经逐步开发出等螺距和变螺距的转子轮廓，并对转子和机身冷却进行了大量研究。2008年，中国企业还将螺杆真空泵的生产引入批量生产，在化工厂和制药行业得到了很好的应用。